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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 多晶硅薄膜的ECR-PECVD低温沉积及特性 学位论文 : 大连理工大学, 2006 作者:  冯庆浩 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 多晶硅薄膜  低温沉积  光电性能  能源信息产业  电子材料  化学气相沉积