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华南理工大学 [2]
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A Paradigm Shift in Patterning Foundation from Frequency Multiplication to Edge-Placement Accuracy - A Novel Processing Solution by Selective (CPCI-S收录)
会议
作者:
Han, Ting[1]
;
Liu, Hongyi[1]
;
Chen, Yijian[1]
收藏
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提交时间:2019/04/11
edge-placement errors (EPE)
alternating-material (dual-material) self-aligned multiple patterning (altSAMP)
alternating-material (dual-material) self-aligned quadruple/sextuple patterning (altSAQP/altSASP)
selective etching
cut-hole layout decomposition
probability of failure (POF)
Probabilistic failure assessment of a complex nozzle structure with flaw defect based on FITNET procedure (EI收录)
会议
Vancouver, BC, Canada,
作者:
Wang, Yan[1]
;
Wang, Yan-Wei[1]
;
Chen, Hanxin[1]
;
Ma, Linwei[1]
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浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2019/04/11
Cracks
Defects
Failure (mechanical)
Finite element method
Fracture mechanics
Intelligent systems
Monte Carlo methods
Nozzles
Pressure vessels
Probability
Safety engineering
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