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科研机构
西安光学精密机械研究... [2]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
学科主题
光学工程 [3]
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学科主题:光学工程
内容类型:学位论文
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空间任务仿真中的多分辨率建模研究
学位论文
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所, 2008
宋凭
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2011/10/10
空间任务仿真,多分辨率建模,域分析,伪聚合解聚,一致性分析,运行环境
适用于空间环境的指向摆镜的设计研究
学位论文
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所, 2007
吴超
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2011/10/09
指向摆镜
结构设计分析
空间环境
有限元分析
浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究
学位论文
作者:
诸波尔
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浏览/下载:121/0
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提交时间:2018/12/26
浸没式光刻机
Immersion lithography tool
投影物镜
Projection lens
波像差检测
Wavefront aberration measurement
空间像
Aerial image
主成分分析
Principal component analysis (PCA)
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