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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2019     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  李朋志 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿   宏纤维复合材料MFC作动器迟滞非线性分析与补偿方法研究 期刊论文 机械工程学报, 2019, 卷号: 55, 页码: 178-185 作者:  刘宽;  赵梓舒;  武文华;  周文雅;  王晓明 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/12/02 宏纤维复合材料  迟滞非线性  修正PI模型  逆补偿控制