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科研机构
上海大学 [2]
长春光学精密机械与物... [1]
南京天文光学技术研究... [1]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2017 [4]
学科主题
天文技术与方法 [1]
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发表日期:2017
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193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展
期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:
张德福
;
李显凌
;
芮大为
;
李朋志
;
东立剑
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浏览/下载:62/0
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提交时间:2018/04/09
集成电路
光刻
投影物镜
波像差
调节机构
主动光学
鱼眼镜头初始结构的设计
期刊论文
光学学报, 2017, 卷号: 37, 页码: 0208001
作者:
吕丽军[1]
;
吴学伟[2]
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/04/24
光学设计
鱼眼镜头
主光线追迹
初始结构
波像差
平面对称光学系统
鱼眼镜头初始结构的设计
期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 105-114
作者:
吕丽军[1]
;
吴学伟[2]
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2019/04/24
光学设计
鱼眼镜头
主光线追迹
初始结构
波像差
平面对称光学系统
大口径非球面透镜支撑方法的优化
期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 219-225
作者:
朱星申
;
宫雪非
收藏
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2018/01/04
光学设计
大口径透镜
有限元分析
响应面优化
Zernike多项式
波像差
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