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大连理工大学 [1]
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西安理工大学 [1]
内容类型
会议论文 [3]
发表日期
2017 [3]
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共3条,第1-3条
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发表日期:2017
内容类型:会议论文
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硅薄膜锂离子电池负极材料制备工艺及性能研究
会议论文
TFC’17全国薄膜技术学术研讨会, 中国安徽合肥, 2017-08-01
作者:
刘强
;
吴爱民
;
吕嘉欣
;
黄昊
;
曹国忠
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/02
硅薄膜
非晶硅
晶体硅
混合结构
磁控溅射技术
锂离子电池负极
双脉冲磁控溅射伏安特性对纯Ti薄膜结构及力学性能的影响
会议论文
粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会, 中国广东惠州, 2017-12-28
作者:
王迪
;
蒋百灵
;
杨超
;
黄蓓
;
周克崧
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/20
磁控溅射离子镀
热电子发射
离化率
双脉冲电场
ITO透明导电薄膜制备工艺优化
会议论文
2017年光学技术研讨会暨交叉学科论坛, 中国云南昆明, 2017-09-20
作者:
沈飞
;
龙华保
;
周尧明
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/30
射频磁控溅射
ITO薄膜
工艺优化
品质因数
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