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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2016     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A high sensitive pressure sensor with the novel bossed diaphragm combined with peninsula-island structure 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2016, 卷号: 244, 页码: 66-76 作者:  Xu, Tingzhong;  Zhao, Libo;  Jiang, Zhuangde;  Guo, Xin 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/11/26 Peninsula-island structure  Sensitivity  Ultra-low pressure sensor  Non-linearity  MEMS   In-situ Assembly for MEMS Based Pressure Sensor 会议论文 作者:  Shang, Yuanfu;  Cao, Wan;  Liu, Sheng 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/05 MEMS  In-situ assembly  Pressure sensor