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Plasmonic Structures, Materials and Lenses for Optical Lithography beyond the Diffraction Limit: A Review 期刊论文
MICROMACHINES, 2016, 卷号: 7, 期号: 7
作者:  Wang, Changtao;  Zhang, Wei;  Zhao, Zeyu;  Wang, Yanqin;  Gao, Ping
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