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科研机构
大连理工大学 [3]
西安交通大学 [1]
江苏大学 [1]
半导体研究所 [1]
内容类型
学位论文 [6]
发表日期
2016 [6]
学科主题
半导体材料 [1]
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共6条,第1-6条
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发表日期:2016
内容类型:学位论文
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离子束溅射沉积制备六方氮化硼二维原子晶体
学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
王浩林
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浏览/下载:48/0
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提交时间:2016/07/07
六方氮化硼
二维原子晶体
离子束溅射沉积
衬底
大尺寸晶畴
多弧离子镀TiN厚膜残余应力的表征与调控
学位论文
2016
作者:
乔关林
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/11/26
氮化钛
超厚硬质镀层
多弧离子镀
残余应力
断裂韧性
GaN基场效应晶体管的器件隔离技术研究
学位论文
: 大连理工大学, 2016
作者:
江滢
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/09
场效应晶体管
隔离工艺
等离子体
氮化镓
大面积放电等离子体特性及其辅助高能球磨制备AlN粉末机理研究
学位论文
: 大连理工大学, 2016
作者:
刘志杰
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/09
氮化铝
纳米粉末
制备工艺
放电等离子体
低气压管式放电等离子体及制备非晶氮化硅薄膜研究
学位论文
: 大连理工大学, 2016
作者:
石德权
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/09
半导体材料
非晶氮化硅薄膜
等离子体
低气压放电
等离子体增强化学气相沉积
多孔氮化硅陶瓷的制备及其性能的研究
学位论文
: 江苏大学, 2016
作者:
冯厚坤[1]
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/24
氮化硅
多孔陶瓷
烧结助剂
造孔剂
放电等离子烧结
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