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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A high performance micro-pressure sensor based on a double-ended quartz tuning fork and silicon diaphragm in atmospheric packaging 会议论文 作者:  Cheng, Rongjun;  Li, Cun;  Zhao, Yulong;  Li, Bo;  Tian, Bian 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02 silicon  packaging  quartz  resonant micro-pressure sensor  MEMS   微流量测量方法及其技术的发展 期刊论文 计测技术, 2015, 页码: 1-8 作者:  胡纯;  樊尚春;  郑德智 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/01/06 微流量传感器 MEMS 科氏效应 差压效应 数据融合 micro flow sensor MEMS Coriolis effect pressure loss effect data fusion