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苏州纳米技术与纳米仿... [2]
江苏大学 [1]
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2015 [4]
学科主题
半导体材料 [1]
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发表日期:2015
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蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
孔苏苏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2015/06/02
氮化铝 HVPE 应力
Progress in bulk GaN growth
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2015, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 16
作者:
Xu, K(徐科)
;
Wang, JF(王建峰)
;
Ren, GQ(任国强)
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2015/12/31
nitride semiconductor
bulk GaN
hydride vapor phase epitaxy (HVPE)
dislocation
Evolution of the surface morphology of AlN epitaxial film by HVPE
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2015, 卷号: 409, 期号: 0, 页码: 100-104
作者:
Gong, XJ(弓晓晶)
;
Xu, K(徐科)
;
Huang, J(黄俊)
;
Liu, T
;
Ren, GQ(任国强)
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2015/01/16
Surface morphology
AlN
AFM
HVPE
大尺寸HVPE反应器托盘温度的数值模拟研究
期刊论文
人工晶体学报, 2015, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 1849-1854
作者:
赵江[1]
;
左然[2]
;
刘鹏[3]
;
童玉珍[4]
;
张国义[5]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/24
HVPE反应器
数值模拟
温场
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