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| 波像差的梯度偏离值评价方法（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 12, 页码: 70-75
作者: 宋淑梅
  收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 离轴三反系统的无应力装调 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 12, 页码: 3414-3421
作者: 梅贵; 翟岩; 曲贺盟; 浦前帅
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| 成像光学系统的相对波像差梯度偏离值评价法 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 12, 页码: 3329-3334
作者: 宣斌
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| 高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2143-2148
作者: 徐明飞; 黄玮
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 空间光学成像与激光数传共口径技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李艳杰
收藏 | 浏览/下载：81/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李晶
收藏 | 浏览/下载：66/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 光刻投影物镜像质分析及补偿研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 杨旺
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 11, 页码: 131-138
作者: 刘志祥; 邢廷文; 蒋亚东; 吕保斌
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2016/11/01
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| 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 吴飞斌
收藏 | 浏览/下载：108/0 | 提交时间：2016/11/28
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