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清华大学 [2]
内容类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2010 [2]
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Reactive ion etching and ion beam etching for ferroelectric memories
期刊论文
2010, 2010
Tian-Qi Shao
;
Tian-Ling Ren
;
Li-Tian Liu
;
Jun Zhu
;
Zhi-Jian Li
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RIE effect on the ferroelectric properties
会议论文
INTEGRATED FERROELECTRICS, 17th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, Shanghai, PEOPLES R CHINA, Web of Science
Zhang, ZG
;
Xie, D
;
Wei, CG
;
Shao, TQ
;
Ren, TL
;
Liu, JS
;
Liu, ZH
;
Zhu, J
收藏
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