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上海微系统与信息技术... [2]
近代物理研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2010 [3]
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发表日期:2010
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硅中纳米空腔的形成及其在合成 SOI 材料中的应用
学位论文
: 中国科学院研究生院, 2010
李炳生
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2011/06/29
离子注入
纳米空腔
注氧隔离技术
Soi
离子辐照
高压LDMOS晶体管准饱和效应分析与建模
期刊论文
物理学报, 2010, 期号: 01
王磊
;
杨华岳
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浏览/下载:88/0
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提交时间:2012/01/06
绝缘体上的硅锗
注氧隔离
埋氧
氧化
环栅结构CMOS/SOI器件SPICE模型研究
期刊论文
半导体技术, 2010, 期号: 06
贺威
;
张正选
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/01/06
绝缘体上的硅
界面形貌
剂量窗口
注氧隔离
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