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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2005    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响 期刊论文 半导体学报, 2005, 期号: 02 董林玺; 车录锋; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/01/06 硅  微机械  陀螺  微机械加工技术