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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2004    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 PECVD SiC薄膜的制备,应力控制与力学特性研究 其他 2004-01-01 王煜; 张海霞; 田大宇; 李素兰; 张国炳; 郝一龙 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 SiC薄膜  折射率  残余应力  应力控制  力学特性  薄膜制备