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上海光学精密机械研究... [8]
内容类型
会议论文 [4]
期刊论文 [4]
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2016 [4]
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Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization
期刊论文
J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1
作者:
Wang, Lei
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yan, Guanyong
;
Yang, Chaoxing
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2017/12/25
Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization
期刊论文
J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1
作者:
Li, Sikun
;
Yang, Chaoxing
;
Wang, Lei
;
Yan, Guanyong
;
Wang, Xiangzhao
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2017/12/25
Pixel-based mask optimization via particle swarm optimization algorithm for inverse lithography
会议论文
作者:
Wang, Xiangzhao
;
Tang, Feng
;
Yang, Chaoxing
;
Li, Sikun
;
Wang, Lei
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2017/12/25
Pixel-based mask optimization via particle swarm optimization algorithm for inverse lithography
会议论文
作者:
Yang, Chaoxing
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Wang, Lei
;
Tang, Feng
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2017/12/25
Source Optimization using Particle Swarm Optimization Algorithm in Photolithography
会议论文
conference on optical microlithography xxviii
作者:
Wang, Lei
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yan, Guanyong
;
Yang, Chaoxing
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/11/28
Efficient source mask optimization using multipole source representation
期刊论文
j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 43001
作者:
Yang, Chaoxing
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
source mask optimization
genetic algorithm
source representation
pupil filling ratio
Efficient source mask optimization using multipole source representation
期刊论文
j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 43001
作者:
Yang, Chaoxing
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/11/28
source mask optimization
genetic algorithm
source representation
pupil filling ratio
Source Mask Optimization Using Real-Coded Genetic Algorithms
会议论文
conference on optical microlithography xxvi
作者:
Yang, Chaoxing
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Erdmann, Andreas
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/11/28
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