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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：贵州大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Molecular dynamics study of interaction between fluorine atoms and silicon surface 期刊论文 2012, 卷号: 32, 期号: 1, 页码: 53-58 作者:  Zhao, Chengli;  Deng, Chaoyong;  Sun, Weizhong;  Lü, Xiaodan;  Chen, Feng 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2020/01/05 Etching Mechanisms of CF3 Etching Fluorinated Si: Molecular Dynamics Simulation 期刊论文 2012, 卷号: 14, 期号: 7, 页码: 670-674 作者:  Zhao Chengli;  Deng Chaoyong;  Sun Weizhong;  Zhang Junyuan;  Chen Feng 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31 Etching mechanisms of CF3etching fluorinated Si: Molecular dynamics simulation 期刊论文 2012, 卷号: 14, 期号: 7, 页码: 670-674 作者:  Zhao, Chengli;  Deng, Chaoyong;  Sun, Weizhong;  Zhang, Junyuan;  Chen, Feng 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/31