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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：辽宁师范大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Non-Uniformity of Ion Implantation in Direct-Current Plasma Immersion Ion Implantation 期刊论文 中国物理快报：英文版, 2010, 卷号: 第27卷, 页码: 180-183 作者:  Liu CS(刘成森);  Wang DZ(王德真);  Fan YJ(范宇佳);  Zhang N(张楠);  Guan L(关力) 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/03/08 等离子体浸没离子注入  直接注入  非均匀性  通量分布  表面离子  研究开发  轮廓曲线  光束形状