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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：山东师范大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 KrF准分子激光刻蚀PMMA研究 期刊论文 2011, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 708-711 作者:  马美娟[1];  张运海[1];  满宝元[2] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/31 激光技术  光与物质相互作用  激光刻蚀  高分子聚合物  有机玻璃