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一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-08-18
作者:  于威[1];  路万兵[2];  傅广生[3];  刘丽辉[4];  王保柱[5]
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环境气体种类对烧蚀粒子输运动力学的影响 期刊论文
河北大学学报(自然科学版), 2010, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 361-364,433
作者:  丁学成[1];  杨宝柱[2];  王世俊[3];  傅广生[4];  王英龙[5]
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螺旋波等离子体沉积纳米硅薄膜结构特性 期刊论文
功能材料与器件学报, 2004, 卷号: 10, 期号: 2, 页码: 177-181
作者:  于威[1];  朱海丰[2];  王保柱[3];  韩理[4];  傅广生[5]
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氢化非晶氮化硅薄膜的光学特性研究 期刊论文
河北大学学报(自然科学版), 2003, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 253-256
作者:  于威[1];  侯海虹[2];  王保柱[3];  刘丽辉[4];  傅广生[5]
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螺旋波等离子体化学气相沉积法制备纳米碳化硅薄膜 期刊论文
人工晶体学报, 2003, 卷号: 32, 期号: 3, 页码: 272-275
作者:  于威[1];  王保柱[2];  孙运涛[3];  韩理[4];  傅广生[5]
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