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3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计 期刊论文
光学精密工程, 2017, 卷号: 25, 页码: 1866-1873
作者:  马立[1];  杨斌[2];  田应仲[3];  肖金涛[4];  华晓青[5]
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