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科研机构
华南理工大学 [3]
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期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2012 [2]
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偏压对中频反应磁控溅射AlN薄膜结构与性能的影响
期刊论文
《真空》, 2012, 卷号: 49, 页码: 28-31
作者:
林松盛[1,2]
;
刘兰兰[1,2]
;
曾德长[2]
;
代明江[1]
;
胡芳[1]
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提交时间:2019/04/26
ALN薄膜
偏压 中频反应磁控溅射
离子束辅助
二氧化氯应用于二次供水安全消毒的静态研究
期刊论文
《环境工程学报》, 2012, 卷号: 6, 页码: 4350-4354
作者:
陈露[1]
;
吴纯德[1,2,3]
;
王林[1]
;
徐亚斌[1]
;
陈捷[1]
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提交时间:2019/04/26
二氧化氯
二次供水
氯酸盐
亚氯酸盐
消毒副产物
离子源对中频反应溅射沉积ALN薄膜结构和性能的影响
会议论文
中国真空学会2012学术交流会, 兰州, 2012年9月1日
作者:
刘兰兰[1]
;
林松盛[2]
;
曾德长[3]
;
代明江[2]
;
胡芳[2]
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提交时间:2019/04/15
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