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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：中南大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Material removal model of ultrasonic elliptical vibration-assisted chemical mechanical polishing for hard and brittle materials 期刊论文 International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2017, 卷号: 92, 期号: 1-4, 页码: 81-99 作者:  Liu, Defu*;  Yan, Riming;  Chen, Tao 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/12/03 Ultrasonic elliptical vibration (UEV)  Chemical mechanical polishing (CMP)  Material removal rate (MRR)  Hard and brittle materials