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抛光法U形槽隔离技术 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN86100527, 申请日期: 1987-01-01, 公开日期: 1987-09-23
徐元森; 陈明琪; 吴佛春; 曹树洪; 严金龙; 陆锦兰; 何德淇; 谢明纲; 周弼芸
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