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光电技术研究所 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2013 [4]
学科主题
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Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography
期刊论文
OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Yu, Junsheng
;
Tang, Yan
;
Xu, Feng
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2015/04/17
Angular displacement
Phase
Tilt moire fringe
Lithography alignment
Linear displacement
Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography
期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Yu, Junsheng.
;
Zhou, Shaolin
;
Tang, Yan
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2015/04/17
Influence of tilt moiré fringe on alignment accuracy in proximity lithography
期刊论文
Optics and Lasers in Engineering, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Yu, Junsheng
;
Tang, Yan
;
Xu, Feng
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2016/11/23
Four-quadrant gratings moiré fringe alignment measurement in proximity lithography
期刊论文
Optics Express, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473
作者:
Zhu, Jiangping
;
Hu, Song
;
Yu, JunshenG.
;
Zhou, Shaolin
;
Tang, Yan
收藏
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提交时间:2016/11/23
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