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浏览/检索结果: 共15条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 The Anomaly of Periodicity Doubling in Projection Photolithography of Periodic Features 期刊论文 IEEE Photonics Technology Letters, 2016, 卷号: 28, 期号: 22, 页码: 2529-2532 作者:  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Yang, Yong;  Hu, Song;  He, Yu 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/06/14 Diffraction  Frequency Doublers  Light Polarization  Phase Shift   UV spectrum-integral Talbot lithography for amplitude periodic micro-grating fabrication 期刊论文 Proceedings of SPIE: 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design, Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices and Systems; and Smart Structures and Materials, 2016, 卷号: 9685, 页码: 96850M 作者:  Deng, Qian;  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan;  Zhao, Lixin 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2018/06/14 Crystal Symmetry  Frequency Doublers  Lithography  Manufacture  Microoptics  Optical Devices  Phase Shift  Ultraviolet Spectroscopy   Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography 期刊论文 OPTICS EXPRESS, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng.;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/04/17 Four-quadrant gratings moiré fringe alignment measurement in proximity lithography 期刊论文 Optics Express, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 3463-3473 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, JunshenG.;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/23 Moire-based focusing and leveling scheme for optical projection lithography 期刊论文 APPLIED OPTICS, 2010, 卷号: 49, 期号: 31, 页码: 5959-5963 作者:  Yan, Wei;  Yang, Yong;  Chen, Wangfu;  Hu, Song;  Zhou, Shaolin 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/09/21 Extended dual-grating alignment method for optical projection lithography 期刊论文 APPLIED OPTICS, 2010, 卷号: 49, 期号: 4, 页码: 708-713 作者:  Chen, Wangfu;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Yang, Yong;  Zhou, Shaolin 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2015/09/21 Moire-based focusing and leveling scheme for optical projection lithography 期刊论文 Applied Optics, 2010, 卷号: 49, 期号: 31 作者:  Yan Wei;  Yang Yong;  Chen Wangfu;  Hu Song;  Zhou Shaolin 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2016/11/23 Extended dual-grating alignment method for optical projection lithography 期刊论文 Applied Optics, 2010, 卷号: 49, 期号: 4, 页码: 708-713 作者:  Wangfu Chen;  Wei Yan;  Song Hu;  Yong Yang;  Shaolin Zhou 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/23 Beam Splitter Achieved by Using Metallic Structure with Nanoslits 期刊论文 JOURNAL OF COMPUTATIONAL AND THEORETICAL NANOSCIENCE, 2009, 卷号: 6, 期号: 5, 页码: 1030-1033 作者:  Yang, Yong;  Fu, Yongqi;  Yao, Hanmin;  Hu, Song;  Zhou, Shaolin 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/09/21 Beam Splitter  Metallic Nanoslit  FDTD   Fabrication of Nanoscale Line Width Using the Improved Optical Maskless Lithographic System 期刊论文 JOURNAL OF COMPUTATIONAL AND THEORETICAL NANOSCIENCE, 2009, 卷号: 6, 期号: 5, 页码: 1170-1174 作者:  Jiang, Wenbo;  Hu, Song;  Zhao, Lixin;  Yan, Wei;  Yang, Yong 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/09/21 Maskless Lithography  Key Techniques  Lithographic Experiment  Nanoscale