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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Intensity modulation based optical proximity optimization for the maskless lithography 期刊论文 OPTICS EXPRESS, 2020, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 548-557 作者:  Liu, Jianghui;  Liu, Junbo;  Deng, Qingyuan;  Feng, Jinhua;  Zhou, Shaolin 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2021/05/11 Effect of Near-Field Diffraction in Photolithography of Hexagonal Arrays for Dichroic Filters 期刊论文 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2016, 卷号: 8, 期号: 4 作者:  Zhou, Shaolin;  Liu, Junbo;  Deng, Qian;  Xie, Changqing;  Chan, Mansun 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2016/10/27 Diffraction  photolithography  terahertz filters  hexagonal array   The Anomaly of Periodicity Doubling in Projection Photolithography of Periodic Features 期刊论文 IEEE Photonics Technology Letters, 2016, 卷号: 28, 期号: 22, 页码: 2529-2532 作者:  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Yang, Yong;  Hu, Song;  He, Yu 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/06/14 Diffraction  Frequency Doublers  Light Polarization  Phase Shift   UV spectrum-integral Talbot lithography for amplitude periodic micro-grating fabrication 期刊论文 Proceedings of SPIE: 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design, Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices and Systems; and Smart Structures and Materials, 2016, 卷号: 9685, 页码: 96850M 作者:  Deng, Qian;  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Tang, Yan;  Zhao, Lixin 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2018/06/14 Crystal Symmetry  Frequency Doublers  Lithography  Manufacture  Microoptics  Optical Devices  Phase Shift  Ultraviolet Spectroscopy   Spectrum-Integral Talbot Effect for UV Photolithography With Extended DOF 期刊论文 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 20, 页码: 2201-2204 作者:  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Gao, Hongtao;  He, Yu 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/12/04 Diffraction  depth-of-focus  Talbot lithography  microfabrication   Spectrum-Integral Talbot Effect for UV Photolithography with Extended DOF 期刊论文 IEEE Photonics Technology Letters, 2015, 卷号: 27, 期号: 20, 页码: 2201-2204 作者:  Liu, Junbo;  Zhou, Shaolin;  Hu, Song;  Gao, Hongtao;  He, Yu 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/23