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长春光学精密机械与物... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
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2015 [1]
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2012 [1]
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专题:长春光学精密机械与物理研究所
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小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 265-278
作者:
陈晨曦阳
;
金春水
;
王君
;
谢耀
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/09/17
光谱仪
近边X射线吸收
掠入射
优化的装配方案
分辨率
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:
王君
;
王丽萍
;
金春水
;
苗亮
;
谢耀
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/07/06
光学设计
极紫外光刻
可视化界面
初始结构
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
王君
;
金春水
;
王丽萍
;
郭本银
;
喻波
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2015/04/17
成像系统
光学设计
极紫外光刻
等效工作界面
多层膜
能量守恒
极紫外光刻离轴照明技术研究
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
王君
;
金春水
;
王丽萍
;
卢增雄
收藏
  |  
浏览/下载:41/0
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线光学
极紫外光刻
分辨率增强
离轴照明阴影效应
光刻胶
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