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湿法刻蚀机腔室关键结构及主要工艺参数对刻蚀性能的影响因素研究 Influence of the Key Structures and the Main Process Parameters on the Etching Property of Chamber of Wet Etching Machine 期刊论文
2015, 卷号: 44, 页码: 1056-1062
作者:  杨为[1,2];  向东[3];  杜飞[1,2];  王伟[4];  田浩[5]
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我国学术期刊的网站建设现状调查与网络期刊进化趋势分析 期刊论文
2013, 卷号: 24, 页码: 1049-1056
作者:  李若溪[1];  游中胜[1];  田海江[2];  王维朗[3];  张栒[4]
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