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北京大学 [4]
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期刊论文 [3]
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2008 [1]
2006 [2]
2005 [1]
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16×16光开关微镜阵列
期刊论文
半导体学报, 2008
陈庆华
;
吴文刚
;
王子千
;
闫桂珍
;
郝一龙
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
光开关 微镜阵列 大角度 静电驱动 微电机系统PACC:4283 4225B 4230Q optical switch micro-mirror array large rotation electrostatic actuation MEMS
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜
期刊论文
传感技术学报, 2006
栗大超
;
吴文刚
;
袁勇
;
陈庆华
;
郝一龙
;
胡小唐
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度 MEMS torsion micromirror silicon micromachining SOI compound driving structures surface roughness
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜
其他
2006-01-01
栗大超
;
吴文刚
;
袁勇
;
陈庆华
;
郝一龙
;
胡小唐
收藏
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浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2015/11/12
MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度
复合静电驱动结构致动的内旋转微镜
期刊论文
半导体学报, 2005
吴文刚
;
陈庆华
;
尹冬青
;
闫桂珍
;
陈章渊
;
郝一龙
;
徐安士
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/12
微镜 复合静电驱动结构 平板驱动器 垂直梳齿驱动器 硅混合微加工 micromirror hybrid electrostatic driving structure planar plate drive vertical comb drive mixed silicon micromachining
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