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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 16×16光开关微镜阵列 期刊论文 半导体学报, 2008 陈庆华; 吴文刚; 王子千; 闫桂珍; 郝一龙 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 光开关 微镜阵列 大角度 静电驱动 微电机系统PACC:4283 4225B 4230Q optical switch micro-mirror array large rotation electrostatic actuation MEMS   基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 期刊论文 传感技术学报, 2006 栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度 MEMS torsion micromirror silicon micromachining SOI compound driving structures surface roughness   基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 其他 2006-01-01 栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度   复合静电驱动结构致动的内旋转微镜 期刊论文 半导体学报, 2005 吴文刚; 陈庆华; 尹冬青; 闫桂珍; 陈章渊; 郝一龙; 徐安士 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12 微镜 复合静电驱动结构 平板驱动器 垂直梳齿驱动器 硅混合微加工 micromirror hybrid electrostatic driving structure planar plate drive vertical comb drive mixed silicon micromachining