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科研机构
西安光学精密机械研究... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2019 [2]
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内容类型:期刊论文
专题:西安光学精密机械研究所
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Research on the mechanism of micromachining of CVD diamond by femtosecond laser
期刊论文
FERROELECTRICS, 2019, 卷号: 549, 期号: 1(SI), 页码: 266-275
作者:
Sun, Yu
;
Dou, Jian
;
Xu, Muxun
;
Cui, Jianlei
;
Mei, Xuesong
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提交时间:2019/11/26
Femtosecond laser
CVD diamond
ablation
XPS
graphitization
Process research on micro-machining diamond microgroove by femtosecond laser
期刊论文
INTEGRATED FERROELECTRICS, 2019, 卷号: 198, 期号: 1(SI), 页码: 9-19
作者:
Dou, Jian
;
Sun, Yu
;
Xu, Muxun
;
Cui, Jianlei
;
Mei, Xuesong
收藏
  |  
浏览/下载:46/0
  |  
提交时间:2019/08/11
Femtosecond laser
CVD diamond
microgroove
processing parameters
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