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科研机构
上海光学精密机械研究... [9]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2014 [9]
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内容类型:期刊论文
专题:上海光学精密机械研究所
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基于激光光散射层貌术的蓝宝石内部缺陷检测系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 9, 页码: 902007
作者:
刘洋
;
徐文东
;
赵成强
;
胡永璐
;
刘涛
收藏
  |  
浏览/下载:22/0
  |  
提交时间:2016/11/28
激光光学
机器视觉
缺陷检测
散射
图像分析
小型激光直写光刻系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 279
作者:
胡永璐
;
徐文东
;
王闯
;
赵成强
;
刘涛
收藏
  |  
浏览/下载:69/0
  |  
提交时间:2016/11/28
激光技术
激光直写
光刻
LabVIEW
自动聚焦
基于激光光散射层貌术的蓝宝石内部缺陷检测系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 9, 页码: 902007
作者:
刘洋
;
徐文东
;
赵成强
;
胡永璐
;
刘涛
收藏
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浏览/下载:40/0
  |  
提交时间:2016/11/25
激光光学
机器视觉
缺陷检测
散射
图像分析
小型激光直写光刻系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 279
作者:
胡永璐
;
徐文东
;
王闯
;
赵成强
;
刘涛
收藏
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浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2016/11/25
激光技术
激光直写
光刻
LabVIEW
自动聚焦
小型激光直写光刻系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 279
作者:
胡永璐
;
徐文东
;
王闯
;
赵成强
;
刘涛
收藏
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浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2016/11/28
激光技术
激光直写
光刻
LabVIEW
自动聚焦
可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003
作者:
刘涛
;
徐文东
;
赵成强
;
王闯
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2016/11/25
测量
激光光刻
自动聚焦
气动微距检测
喷嘴挡板
热线探针
基于激光光散射层貌术的蓝宝石内部缺陷检测系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 9, 页码: 902007
作者:
刘洋
;
徐文东
;
赵成强
;
胡永璐
;
刘涛
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2016/11/28
激光光学
机器视觉
缺陷检测
散射
图像分析
可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003
作者:
刘涛
;
徐文东
;
赵成强
;
王闯
;
胡永璐
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/28
测量
激光光刻
自动聚焦
气动微距检测
喷嘴挡板
热线探针
可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003
作者:
刘涛
;
徐文东
;
赵成强
;
王闯
;
胡永璐
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/28
测量
激光光刻
自动聚焦
气动微距检测
喷嘴挡板
热线探针
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