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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of laterally driven bulk titanium devices on titanium-on-glass wafers 期刊论文 journal of micromechanics and microengineering, 2013 Zhang, Yiming; Li, Nannan; Yan, Bo; Feng, Xiaoyang; Hu, Jia; He, Shuwei; Hao, Yilong; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS APPLICATIONS  SILICON  SOI   Metallization introduced corrosion and parylene protection of surface micromachined polysilicon film with submicron capacitive gap 期刊论文 微电子工程, 2012 Zhang, Yiming; Wang, Yunda; Cai, Ming; Wang, Ying; Hao, Yilong; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS  Polysilicon corrosion  HF release  Parylene  POROUS SILICON FORMATION  GALVANIC CORROSION  MEMS