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计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究 会议论文
第八届中国微米/纳米技术学术年会, 2006-09-21
作者:  高嵘[1];  王小静[2];  张效翔[3];  王敏[4];  于茂华[5]
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