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一种低温高速沉积氢化非晶氮化硅薄膜的方法 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-08-18
作者:  于威[1];  傅广生[2];  孟令海[3];  腾晓云[4];  王春生[5]
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一种低温高速沉积氢化非晶硅太阳能电池薄膜的方法 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-09-15
作者:  于威[1];  傅广生[2];  孟令海[3];  丁文革[4];  苑静[5]
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