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宁波材料技术与工程研... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2018 [1]
学科主题
Crystallog... [1]
Materials ... [1]
Physics [1]
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学科主题:Crystallography
专题:宁波材料技术与工程研究所
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Rapid crystallization of amorphous silicon films utilizing Ar-H-2 mesoplasma annealing
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2018, 卷号: 486, 页码: 142-147
作者:
Lu, Ziyu
;
Zhang, Sheng
;
Sheng, Jiang
;
Gao, Pingqi
;
Chen, Qixian
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提交时间:2018/12/04
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