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科研机构
上海微系统与信息技术... [6]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2003 [2]
2002 [1]
2001 [1]
2000 [2]
学科主题
Applied [6]
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学科主题:Applied
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sp(3)/sp(2) ratio in amorphous-carbon thin film by spectroscopic ellipsometry
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2003, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 284-287
Li,WJ
;
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Wang,X
;
Zou,SC
;
Shen,DS
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2012/03/24
DIAMOND-LIKE CARBON
COMPRESSIVE-STRESS
Dielectric properties of AlN thin films formed by ion beam enhanced deposition
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2003, 卷号: 57, 期号: 30, 页码: 4643-4647
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Shen,DS
;
Zou,SC
;
Zheng,ZH
;
Luo,EZ
;
Xie,Z
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2012/03/24
SILICON
GROWTH
Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2002, 卷号: 80, 期号: 5, 页码: 743-745
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Li,CL
;
Zou,SC
;
Zhang,FM
;
Wang,X
;
Shen,DS
;
Luo,EZ
;
Sundaravel,B
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:56/0
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提交时间:2012/03/24
DIAMOND-LIKE CARBON
COMPRESSIVE-STRESS
ION
ENERGY
ZnO : Zn phosphor thin films prepared by filtered arc deposition
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2001, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 1004-1007
Li,W
;
Mao,DS
;
Zhang,FM
;
Wang,X
;
Liu,XH
;
Zou,SC
;
Zhu,YK
;
Li,Q
;
Xu,JF
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
FIELD-EMISSION
LUMINESCENCE
OXIDE
ZnO : Zn phosphor thin films prepared by ion beam sputtering
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 2000, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 2295-2301
Li,W
;
Mao,DS
;
Zhang,FM
;
Wang,X
;
Liu,XH
;
Zou,SC
;
Zhu,YK
;
Li,Q
;
Xu,JF
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2012/03/24
FIELD-EMISSION DISPLAYS
FLAT-PANEL DISPLAYS
GREEN PHOTOLUMINESCENCE
SPRAY-PYROLYSIS
LUMINESCENCE
DEPOSITION
LASER
SCREENS
POWDERS
OXIDE
ZnO/Zn phosphor thin films prepared by IBED
期刊论文
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2000, 卷号: 128, 期号: 0, 页码: 346-350
Li,W
;
Mao,DS
;
Zheng,ZH
;
Wang,X
;
Liu,XH
;
Zou,SC
;
Zhu,YK
;
Li,Q
;
Xu,JF
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
FLAT-PANEL DISPLAYS
DEPOSITION
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