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氩气流量对多晶硅定向凝固炉热场的影响 期刊论文
工程热物理学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 143-145
作者:  李早阳;  刘立军;  马文成;  余庆华;  李凯
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