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能量过滤磁控溅射技术制备ITO 薄膜及其特性研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 3
姚宁; 常立红; 韩昌报; 邢宏伟; 葛亚爽; 崔娜娜; 王英俭; 张兵临
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