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用于金属有机气相沉积设备的进气喷头 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-04
冉军学; 胡强; 梁勇; 胡国新; 王军喜; 曾一平; 李晋闽
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用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-01
冉军学; 胡强; 胡国新; 梁勇; 熊衍凯; 王军喜; 曾一平; 李晋闽
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2014/12/25
MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-08
冉军学; 胡强; 胡国新; 梁勇; 熊衍凯; 王军喜; 曾一平; 李晋闽
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2014/12/25


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