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具有亚波长光栅结构的面入射硅基锗光电探测器及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
刘智; 成步文; 何超; 李传波; 薛春来; 王启明
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硅基宽光谱探测器及制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
刘智; 成步文; 何超; 李传波; 薛春来; 王启明
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