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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：光学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Trefoil aberration measurement of lithographic projection optics based on linewidth asymmetry of the aerial image 期刊论文 optik, 2010, 卷号: 121, 期号: 19, 页码: 1739-1742 Yuan QY(袁琼雁); Wang XZ(王向朝); Qiu ZC(邱自成) 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2011/03/31 Measurement technique for characterizing odd aberration of lithographic projection optics based on dipole illumination 期刊论文 optics communications, 2010, 卷号: 283, 期号: 11, 页码: 2309-2317 Peng B(彭勃); Wang XZ(王向朝); Qiu ZC(邱自成); Yuan QY(袁琼雁) 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2011/03/31 Aberration induced intensity imbalance of alternating phase shifting mask in lithographic imaging 期刊论文 optics letters, 2010, 卷号: 35, 期号: 9, 页码: 1404-1406 Peng B(彭勃); Wang XZ(王向朝); Qiu ZC(邱自成); Yuan QY(袁琼雁); Cao YT(曹宇婷) 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2011/03/31