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Influence of dry etching on the properties of SiO2 and HfO2 single layers 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2020, 卷号: 59, 期号: 5, 页码: A128-A134
作者:  Xie, LY;  Liu, HS;  Zhao, J;  Jiao, HF;  Zhang, JL
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