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利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术 期刊论文
真空与低温, 2020, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 402-409
作者:  魏徐兵;  尚伦霖;  鲁志斌;  张广安
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