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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2020    专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching 期刊论文 MICROMACHINES, 2020, 卷号: 11, 期号: 7, 页码: 638 作者:  Lihao Wang;   Meijie Liu ;   Junyuan Zhao ;   Jicong Zhao ;  Yinfang Zhu;  Jinling Yang;   Fuhua Yang 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2021/06/28