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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2019     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Superior-performance TiN films sputtered for capacitor electrodes 期刊论文 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 2019, 卷号: 54, 页码: 10346-10354 作者:  Sun, Nana;  Zhou, Dayu;  Shi, Shuyan;  Liu, Feng;  Liu, Wenwen 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2019/12/02 Electrodes  Film growth  Reactive sputtering  Thin films  Titanium nitride, Capacitor electrode  Crystalline orientations  Direct current  Film properties  Growth regime  RMS roughness  Si (100) substrate  Substrate bias, Morphology   DC substrate bias enables preparation of superior-performance TiN electrode films over a wide process window 期刊论文 MATERIALS RESEARCH BULLETIN, 2019, 卷号: 119 作者:  Sun, Nana;  Zhou, Dayu;  Shi, Shuyan;  Liu, Wenwen;  Zhao, Xiuming 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2019/12/02 Nitrides  Thin films  Sputtering  Microstructure  Atomic force microscopy  Electron microscopy  X-ray diffraction  Crystal structure  Electrical properties   Experimental evidence of ferroelectricity in calcium doped hafnium oxide thin films 期刊论文 Journal of Applied Physics, 2019, 卷号: 126 作者:  Yao, Yifan;  Zhou, Dayu;  Li, Shuaidong;  Wang, Jingjing;  Sun, Nana 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2019/12/02