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MICROSTRUCTURE AND BLUE PHOTOLUMINESCENCE OF HYDROGENATED SILICON CARBONITRIDE THIN FILMS 期刊论文
2019, 卷号: 26, 期号: 4
作者:  Peng, Yinqiao[1];  Zhou, Jicheng[2];  Lei, Guibin[3];  Gan, Yuanju[4];  Chen, Yuefeng[4]
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