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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2019    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A novel chemical mechanical polishing slurry for yttrium aluminum garnet crystal 期刊论文 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2019, 卷号: 496 作者:  Zhang, Zili;  Jin, Zhuji;  Guo, Jiang;  Han, Xiaolong;  Mu, Qing 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/12/02 Yttrium aluminum garnet  Chemical mechanical polishing  Surface roughness  Material removal rate  Reaction mechanism   Investigation on surface/subsurface damage mechanism in yttrium aluminum garnet crystal lapping and polishing 会议论文 19th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2019, Bilbao, Spain, 2019-06-03 作者:  Mu, Qing;  Jin, Zhuji;  Kang, Renke;  Zhu, Xianglong;  Han, Xiaolong 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/12/02