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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2019    内容类型：会议论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 CHEMICAL MECHANICAL MATERIAL REMOVAL OF SILICON DIOXIDE BY A SINGLE PAD ASPERITY 会议论文 2019 CHINA SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY INTERNATIONAL CONFERENCE (CSTIC), 2019-01-01 作者:  Yang, Shuo;  Wang, Lin;  Zhou, Ping;  Yan, Ying;  Jin, Zhuji 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2019/12/02 A Measuring Method of Coaxiality Errors for Apart Axis 会议论文 TENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PRECISION ENGINEERING MEASUREMENTS AND INSTRUMENTATION, 2019-01-01 作者:  YuansongZheng;  Lou, Zhifeng;  Li, Ying;  Wang, Xiaodong;  Wang, Yue 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/12/02 coaxiality measurement  laser collimation  laser module  four-quadrant photo detector module